[마켓히어로]미코, 세라믹 소재 원천기술 바탕…반도체 부품 국산화 앞장

수입 점유율 90% 세라믹 히터 자체제작…고체산화물 연료전지·의료기기도 활용

지난 1999년 설립된 미코는 반도체 부품 세정 기술력을 바탕으로 반도체 소재·부품 분야에도 성공적으로 진출한 소재·부품 전문 기업이다. 미코는 현재 세라믹 소재 원천 기술을 바탕으로 다양한 고기능성 반도체 부품을 생산하는 데 주력하고 있고, 연료전지 시장과 의료기기용 부품 시장에도 진출해 있다.

미코는 수입 의존도가 높은 반도체 장비의 국산화를 선도하면서 수입 대체 효과를 창출하고 있다. 반도체 장비용 세라믹 히터(AIN Heater)와 세라믹 정전척(ESC:Electrostatic Chuck) 등이 대표적 국산화 성공 제품들이다. 이 중 반도체 장비용 세라믹 히터의 경우 외산 제품이 전체 시장 점유율 중 90% 이상을 차지할 정도로 국산화가 시급한 제품이었다.

미코는 다년간 축적된 세라믹 제조 기술을 기반으로 세라믹 시트를 자체 제작하는 데 성공, 세라믹 히터 국산화를 선도하기 시작했다. 세라믹 시트와 접합 기술의 접목을 통해 세라믹 히터 생산 시스템을 구축했고, 질화알루미늄(AlN)이라는 세라믹 시트와 알루미늄(Al)이라는 메탈(Metal)의 이종 결합에 필요한 우수한 브레이징 기술과 본딩 기술을 기반으로 경쟁력을 갖췄다.

또 지난 2012년 국내 최초로 플라즈마 화학증착 장비(PE-CVD) 공정용 세라믹 히터 국산화에도 성공했다. 이는 현재 삼성전자의 1차 벤더인 원익IPS 등에 공급하고 있을 뿐만 아니라 유진테크·TES 등의 CVD 장비업체로 신규 거래처를 확보, 히터 부문에서 입지를 강화해 나가고 있다.

미코 관계자는 “향후 공급 아이템을 PE-CVD 외에도 플라즈마를 이용한 원자층 증착법(PEALD:Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) 등으로 다양하게 확대할 예정”이라고 밝혔다.

미코는 다양한 ESC 제조 기술을 바탕으로 국내 최초로 세라믹 ESC 국산화에도 성공한 바 있다. 이를 바탕으로 세메스·AMEC 등 ESC 국내 및 해외 장비업체 신규 아이템 개발도 진행하고 있고, 차세대 ESC로 꼽히는 Tunable ESC도 개발 중이다.

이와 함께 AlN·Y2O3 등 고부가 특수 소재를 기반으로 한 세라믹 부품도 국산화에 성공하며 경쟁력을 갖추고 있다. 특히 파우더(Powder) 원료 합성부터 성형·탈지·소결·가공에 이르기까지 세라믹 소재 부품 일괄생산시스템의 자체 제조 기반을 구축하고 있다.

회사 관계자는 “현재 1000여 종의 반도체 핵심요소 부품 기술과 100여 건의 특허를 보유하고 있을 정도로 높은 기술력을 자랑한다”고 말했다.

또 미코의 세라믹 원천 기술은 반도체 부품 외에 고체 산화물 연료전지(SOFC:Solid Oxide Fuel Cell)와 의료기기 분야에서도 활용되고 있다. SOFC는 고효율성과 친환경적 요소로 최근 전 세계적으로 각광 받는 연료전지다.

일본과 미국 및 유럽에서는 SOFC 시장 형성이 빠르게 이뤄지고 있고, 향후 연료전지 시장이 본격적으로 활성화되면 SOFC는 가장 큰 수혜가 기대되는 분야로 꼽히고 있다는 게 회사 측 설명이다.

앞서 미코는 지난 2011년부터 경동나비엔과의 기술 협력을 통해 SOFC 방식의 열병합발전 시스템 개발에 착수한 바 있다. 현재 정부의 신재생에너지 융합 원천기술 개발사업인 ‘그린홈 연계형 건물용 SOFC 시스템 개발 및 실증 과제’에 참여, 1kw·2.5kw 스택과 단전지를 개발 완료하고 제품화를 진행 중이다.

한편 미코는 축적된 세라믹 기술을 바탕으로 의료기기용 부품시장에도 진입, 지멘스와 전략적 제휴를 맺고 UTC(초음파 진단 영상기 송수신 부품)를 공급하고 있다. 향후 다양한 의료기기로 적용 범위를 확대해 본격적으로 의료기기 시장에 진출할 계획이다.

회사 관계자는 “세라믹 소재는 열에 강하고 형태가 쉽게 변하지 않는다는 특성 때문에 최근 반도체산업뿐만 아니라 다양한 분야에서 응용되고 있다”며 “이 때문에 향후 세라믹 소재의 중요도는 지속적으로 높아질 것으로 전망되고, 국내 최고 수준의 세라믹 관련 원천 기술을 보유한 미코 역시 수혜가 이어질 것으로 기대된다”고 말했다.