“ASML·TSMC, 중국 대만 침공 시 반도체 제조장비 가동 중단 가능”

첨단 EUV 장비, 원격 차단 가능 ‘킬 스위치’ 있어

▲대만 신주에 있는 TSMC 본사에 회사 로고가 걸려 있다. AP뉴시스

세계 최대 반도체 제조장비업체 네덜란드 ASML과 세계 1위 파운드리(반도체 위탁생산 업체) 대만 TSMC는 중국이 대만을 침공할 경우 반도체 제조장비를 비활성화할 수 있는 방법을 보유하고 있다고 21일(현지시간) 블룸버그통신이 반도했다.

미국 정부 관리들은 중국이 대만을 공격해 세계 첨단 반도체 생산의 대부분을 담당하는 대만 기업들을 장악할 가능성에 대해 네덜란드와 대만 정부에 비공식적으로 우려를 표명했다고 소식통들은 전했다.

이와 관련해 네덜란드 정부가 ASML에 문의하자 ASML 측은 원격으로 장비를 비활성화할 방법이 있다고 정부를 안심시켰다. 또 네덜란드 정부는 위험을 더 잘 평가하기 위해 대만 침공 가능성을 놓고 시뮬레이션도 실행한 것으로 전해졌다.

ASML과 TSMC, 네덜란드 무역부 모두 이 보도에 대한 언급을 피했다. 국방부와 상무부 등 미국 관계부처는 아직 문의에 응답하지 않았다.

원격 차단은 ASML의 극자외선 노광장비(EUV)에 적용되고 있으며 TSMC가 해당 장비의 최대 고객사라고 블룸버그는 전했다.

차단 방법에 대해 한 관계자는 “시내버스 크기인 EUV는 정기점검과 업데이트가 필요하다”며 “그 일환으로 ‘킬 스위치’가 있어 전원을 원격으로 강제 차단할 수 있다”고 설명했다.

ASML은 대당 2억 유로(약 2963억 원)에 달하는 EUV를 세계에서 유일하게 생산하고 있다. 이에 미국 정부는 ASML 기술이 중국으로 넘어가는 것을 극도로 공격하고 있다. 네덜란드 정부는 미국의 우려를 받아들여 현재 ASML의 EUV를 중국에 수출하는 것을 금지하고 있다.

중국은 대만이 자국의 영토라고 주장해왔으며 시진핑 국가주석은 통일을 위한 군사개입 가능성을 배제하지 않는다.

지난달 미국 의회는 대만 방위력 강화를 위해 아시아·태평양 지역에 총 80억 달러에 달하는 원조를 제공하는 방안을 승인했다. 조 바이든 정부도 향후 공급망 중단에 대비하기 위해 반도체 제조업체에 약 390억 달러 보조금을 약속하면서 미국 내 반도체 생산 확대를 추진하고 있다.