반도체 검사 장비 기업 넥스틴이 업황 침체를 대비하기 위해 올해 상반기 출시한 신제품으로 성장의 기반을 다지고 있다. 고객사 테스트를 통해 향후 공급 가능성을 타진하는 것으로 알려졌다.
30일 본지 취재를 종합하면 넥스틴은 반도체 공정 중에 정전기를 제거하는 장비와 3차원 반도체 검사장비의 고객사 테스트를 하고 있다.
넥스틴 관계자는 "신규 장비를 준비 중으로 데모(시제품) 고객사 테스트를 진행 중"이라며 "정전기 제거 장비 '레스큐'와 3차원 반도체 검사장비 '아이리스'를 고객사와 성능 테스트를 하고 있다"라고 말했다.
레스큐는 웨이퍼 상의 미세 정전기를 제거하는 장비다. 극자외선(EUV)의 주 적용처인 7나노미터(nm) 이하 공정에서는 반도체 회로 위에 정전기가 남아있을 경우 수율이 떨어지는 문제가 발생한다. 이를 극복하기 위해 지난해 중순 국내 유일의 웨이퍼 정전기 제거 기술을 보유한 자이시스를 인수하고, 레스큐 장비를 개발해왔다. 고객사와 시험을 통해 대량 공급을 추진한다는 계획이다.
아이리스는 근적외선(NIR)이라는 빛으로 다중비초점면(TSOM) 기술을 구현한 반도체 웨이퍼 검사 장비다. 이 장비는 낸드 플래시 공정 중 웨이퍼의 결함을 검사하는 역할을 한다. 3D 낸드 플래시는 미세한 정보 공간을 아파트처럼 수직으로 쌓아 올리는 방식으로 만든다. 최근 세계 주요 낸드플래시 제조사들은 200단 이상 초고적층 낸드플래시를 양산한다.
다만 낸드플래시 적층 수가 늘어나며 불량제품 검사가 까다로워졌다. 초고적층 구조에서 반도체 불량을 검사하기 위한 신제품이라고 한다.
넥스틴은 웨이퍼 상의 패턴 결함, 이물질 등을 검출하는 광학 검사장비 전문업체다. 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 주요 반도체 기업과 다수의 중화권 기업들을 고객사로 두고 있다.
넥스틴은 지난해부터 급격히 위축된 시장 상황에 대비하기 위해 신제품 개발에 나섰다. 특히 국내 반도체 기업들의 장비 투자가 감소하면서 올해 상반기 기준 내수 비중은 12%까지 하락했다. 지난해 40% 정도까지 올랐던 데 비하면 크게 감소한 수치다.
이달 24일부터 중국 반도체 위탁 생산 기업 SMSC에 155억 원 규모의 웨이퍼 검사장비를 공급하는 등 88%가 중국 위주의 수출이다.