'반도체·디스플레이' 온실가스 산정 방법 개정…"감축 정량평가 가능해져"

환경과학원, 온실가스 배출량 및 감축량 공정시험기준 개정

▲삼성전자의 평택 반도체 공장. (로이터연합뉴스)

반도체와 디스플레이 업종의 탄소중립 노력에 대한 정량 평가 기준이 수립됐다. 이에 이들 업종의 온실가스 배출량과 감축량을 정확하게 산정할 수 있게 됐다.

환경부 소속 국립환경과학원은 반도체와 디스플레이 업종의 주요 온실가스 배출량 및 감축량을 정확하게 산정할 수 있도록 개정한 온실가스 공정시험기준을 개정했다고 11일 밝혔다. 온실가스 공정시험기준은 사업장에서 배출되거나 대기 중에 존재하는 온실가스의 농도를 정확하게 측정하는 데 필요한 시험방법이다.

반도체 업종은 우리나라 국가안보와 경쟁력 변화의 파급효과가 가장 큰 중요한 자산으로 수출 비중이 약 20%에 달하며, 세계 시장 점유율 2위인 주요 업종이다. 국내 반도체와 디스플레이 생산량 증가로 온실가스 배출량이 늘어 이에 따른 온실가스 감축이 필요하며, 감축량을 산정할 수 있는 측정 방법 마련도 시급했다.

이에 환경과학원은 산업공정 배출가스 중에 포함된 아산화질소, 수소불화탄소, 과불화탄소, 육불화황, 삼불화질소의 농도를 적외선흡수분광법으로 측정해 온실가스 배출권거래제의 배출량 보고·인증에 적용할 수 있도록 온실가스 공정시험기준을 제정했다.

반도체·디스플레이 분야 온실가스 감축량 산정을 위한 가장 현실적인 방안은 제조 과정 중 식각(Etching) 및 증착(CVD·Chemical Vapor Deposition) 공정에 사용되는 불소 화합물과 온실가스에 대해 처리시설(스크러버)을 통해 파괴되거나 제거되는 저감 효율을 측정하는 방식이다.

공정 중 사용되는 각각의 불소 화합물과 온실가스에 대한 처리시설의 가스 저감 효율을 측정하기 위해 신뢰성 있는 측정 방법의 마련이 필요하며, 이를 위해 환경과학원은 온실가스 공정시험기준을 개발했다.

환경과학원은 이 측정 방법을 통해 반도체·디스플레이 전자산업 등의 산업공정 배출가스 중에 포함된 불소 화합물과 아산화질소의 농도를 측정할 수 있다고 설명했다. 또 이를 활용해 개별 또는 통합 처리시설의 온실가스 저감 효율뿐만 아니라 식각 및 증착 공정 중 온실가스 사용 비율·부생가스 발생비율을 산정할 수 있다고 강조했다.

개정된 온실가스 공정시험기준은 환경과학원 누리집(nier.go.kr)과 법제처 국가법령정보센터(law.go.kr)를 통해 12일 공개된다.

유명수 환경과학원 기후대기연구부장은 "이번 온실가스 공정시험기준 개정은 반도체와 디스플레이 업종의 탄소중립 노력에 대한 정량평가 기준 수립에 의의가 있다"라며 "앞으로도 이를 활용해 기술경쟁력뿐만 아니라 온실가스 감축에 대한 선도적인 역할을 수행할 수 있는 기반을 확보하겠다"라고 말했다.