‘슈퍼乙’ ASML CEO 내주 방한…이재용 만나 협력 논의할 듯

16일 ASML 화성 뉴캠퍼스 기공식 비공개 진행
지난 6월 이어 이 회장ㆍ베닝크 CEO 회동 유력
삼성전자, '반도체 초격차' EUV 장비 확보 총력

▲이재용 삼성전자 회장이 올해 6월 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크 ASML CEO와 촬영한 기념사진. (사진제공=삼성전자)

글로벌 반도체 장비업체인 네덜란드 ASML의 피터 베닝크 최고경영자(CEO)가 다음 주 한국을 찾는다. 재계는 베닝크 CEO가 인연이 깊은 이재용 삼성전자 회장과 만나 협력 증진 방안에 대해 논의할 가능성이 큰 것으로 관측했다.

10일 본지 취재를 종합하면 ASML은 16일 경기도 화성에서 ‘ASML 뉴캠퍼스’ 기공식을 비공개로 연다. 안전상의 문제로 최소 인원이 참석하며 화상회의 프로그램인 팀즈 등을 통해 기공식을 생중계할 계획이다.

이날 기공식에는 베닝크 CEO, 이우경 ASML코리아 사장 등이 참석한다. 삼성전자ㆍSK하이닉스 대표이사와 우리 정부 측 관계자도 함께할 것으로 보인다. 앞서 지난해 11월 방한했던 베닝크 CEO는 문승욱 전 산업통상자원부 장관을 만나 화성 반도체 클러스터에 관해 논의한 바 있다.

지난해 11월 ASML은 오는 2025년까지 2400억 원을 투자해 경기 화성 동탄2신도시 1만6000㎡ 부지에 반도체 클러스터를 조성하기로 했다. 일환으로 세워지는 ASML 뉴 캠퍼스에는 DUVㆍEUV(심자외선ㆍ극자외선) 트레이닝센터, 재처리센터, 1500명을 수용할 수 있는 오피스(본사 확장) 등이 들어설 예정이다.

트레이닝센터에서는 ASML 엔지니어들이 EUVㆍDUV 노광 장비를 직접 다뤄보며 실무 교육을 받게 된다. 재처리센터는 고객사들이 사용하는 ASML 장비, 부품 등을 수리하고 내보내는 곳이다. ASML은 향후 캠퍼스 내 일부 장비나 공간을 학생들에게 개방할 계획인 것으로 알려졌다.

▲이재용 삼성전자 회장이 지난 6월 14일(현지시간) ASML 본사에서 피터 베닝크 ASML CEO, 마틴 반 덴 브링크 ASML CTO 등과 함께 반도체 장비를 점검하는 모습. (사진제공=삼성전자)

이 회장은 ASML 뉴캠퍼스 기공식에 직접 참석하지 않을 것으로 알려졌지만 베닝크 CEO의 방한 일정 중 따로 만날 가능성이 크다.

베닝크 CEO 등 ASML 경영진은 2020년 이후 매년 한두 차례씩 한국을 찾고 있다. 이 회장과 삼성전자 경영진도 ASML 네덜란드 본사 등을 방문하는 등 양사는 돈독한 관계를 유지 중이다.

지난 6월 네덜란드, 벨기에 등 유럽 출장을 마치고 온 이 회장은 네덜란드 방문을 가장 중요한 일정으로 꼽기도 했다. 출장 기간 이 회장은 베닝크 CEO를 만나 ASML의 최신 장비인 ‘하이-뉴메리컬어퍼처(High NA) EUV’를 살폈다.

수천억 원에 달하는 EUV는 반도체 초미세 공정(나노) 경쟁에서 필수적인 장비로 ASML이 독점 공급하고 있다. 문제는 지난해 기준 42대를 출하할 정도로 물량이 제한적이라는 점이다. 대만과 미국의 반도체 업체들도 EUV 장비 확보를 위해 총력전을 펼치고 있다.

삼성전자가 파운드리(반도체 위탁생산) 등 시스템반도체에서 우위를 점하기 위해서는 EUV 장비 확보가 중요하다. 삼성전자는 최근 반도체 매출 1위 자리를 파운드리 분야 1위 업체인 대만의 TSMC에 내줬다. '반도체 초격차'를 유지하기 위해서는 안정적인 EUV 장비 확보가 반드시 뒷받침돼야 한다.

반도체 업계 관계자는 “모든 반도체 회사가 첨단 공정 경쟁을 하고 있기 때문에 EUV 장비를 많이 확보하는게 가장 중요하다”며 “많이 가져올수록 경쟁력에 도움이 되고 기술 개발, 양산 측면에서도 유리할 수밖에 없다”고 말했다.

한편 한국이 중요한 시장으로 인식되면서 세계 주요 반도체 장비사들은 국내 투자를 지속 확대하고 있다. 세계 3위 반도체 장비업체인 램리서치는 지난 4월 용인에 연구개발(R&D센터)를 구축했고, 미국 어플라이드 머티리얼즈도 지난 8월 한국 R&D센터 건립 계획을 발표했다.