SK하이닉스, '국산화' 반도체 노광공정용 네온가스 비중 40% 확대

2024년까지 국산 네온 전량 사용…크립톤ㆍ제논 가스 국산화 계획

(출처=SK하이닉스 뉴스룸)

SK하이닉스는 올해 초 업계 최초로 국산화한 반도체 필수 원료인 ‘네온(Ne)가스’ 공정 도입 비중을 40%까지 확대했다고 5일 밝혔다. SK하이닉스는 2024년까지 네온 국산화 비중을 100%로 확대할 계획이다.

지금까지 국내 반도체 기업은 네온 공급을 수입에 의존해왔다. 지난 몇 년간 해외 주요 생산 지역의 국제정세가 불안해지며 네온 가격이 급등할 조짐을 보이자 SK하이닉스는 수급 불안 리스크를 선제적으로 해소하기 위해 협력사인 반도체용 가스 제조기업 TEMC, 포스코와 함께 네온을 국내에서 생산할 방법을 찾았다.

네온은 반도체 노광공정에 사용되는 엑시머 레이저 가스의 주재료다. 엑시머 레이저 가스는 짧은 파장의 자외선인 엑시머 레이저를 발생시킨다. 엑시머 레이저는 웨이퍼 위에 미세한 회로를 새길 때 쓰인다. 엑시머 레이저 가스 성분의 95%가 네온이지만 공기 중에 0.00182% 밖에 존재하지 않는 희귀자원이다.

공기 중에 희박하게 있는 네온을 채취하기 위해서는 대규모 ASU플랜트(공기 분리 장치)가 필요해 초기 투자 비용이 많이 발생한다. 하지만 SK하이닉스, TEMC, 포스코는 기존 설비를 활용해 적은 비용으로 네온을 생산하는 기술을 개발했다. 국산 네온은 포스코에서 생산된 후 TEMC의 가공을 거쳐 최우선으로 SK하이닉스에 공급되고 있다.

SK하이닉스는 내년 6월까지 웨이퍼 위에 새겨진 회로 외부의 불필요한 부분을 깍아내는 식각공정에 쓰이는 크립톤(Kr)ㆍ제논(Xe) 가스도 국산화해 원자재 수급 리스크를 최소화하고 첨단 반도체 기술 개발에 필요한 자원을 지속 확보해 나갈 방침이다.

SK하이닉스 FAB원자재구매담당 윤홍성 부사장은 “불안정한 국제정세로 불안한 공급상황에서도 국내 협력사와의 협업으로 수급 안정화에 크게 기여한 사례”라며 “지속적인 협력을 통해 반도체 원재료 공급망을 강화할 계획”이라고 말했다.