반도체 계측 장비 전문 기업 에이티아이는 삼성전자 사업장 테스트를 거쳐 미국과 일본 등 해외에서 독점적 지위를 가진 '반도체 웨이퍼 박막 두께 자동화 광측정장비'를 국산화했다. 반도체 공정에 필요한 얇은 원판 뒷면의 반사율과 투과율, 두께 측정을 접촉하지 않고도 할 수 있는 장비다. 이 기업의 매출액은 58억 원에 달한다. 에이티아이와 삼성전자의 협업이 가능했던 이유는 정부의 소재·부품·장비(소부장) 양산성능 평가 지원사업 덕이다.
15일 정부는 2023년도 소부장 양산성능 평가지원 사업을 공고하고 7개 분야 100개 과제에 총 300억 원의 국비를 투자할 계획이라고 밝혔다. 이 사업은 국내 중소·중견기업이 개발한 소부장 제품의 성능이 대기업 등 수요기업의 생산 설비에서 평가하고 검증할 수 있도록 지원하는 사업이다. 2019년 추경 사업으로 반도체와 디스플레이 분야에 최초 지원한 후 4년간 498개 수요, 공급 기업 성능평가에 1470억 원을 지원했다.
올해 사업부터는 원자재와 재료비 가격 상승 등을 반영해 비용지원 상한을 2억 원에서 3억 원으로 확대했다. 추가 성능 개선이 필요하면 2억 원을 추가로 지원한다.
지원 대상도 대일 100대 고의존도 품목에서 반도체와 디스플레이 등 7개 분야 150대 핵심전략기술 관련 품목으로 개편해 지원한다. 양산성능평가 대상 품목에 대한 수요기업의 구매의향서와 동의서를 제출하면 먼저 지원해 사업화 성과를 높일 계획이다.
지난해엔 에이티아이 외에도 디스플레이 업체인 케이에프엠이 수요기업인 대상에스티와 협력해 3M사에서 장악 중인 OLED용 에어프리 이형 필름에 신기술을 적용했다. 생산속도는 3배 늘렸고, 양산성도 확보해 매출액은 12억 원에 달했다.
산업부는 "반도체, 디스플레이협회 등 업종별 주요 협단체의 네트워크를 적극적으로 활용해 수요, 공급기업의 매칭을 활성화하고 우수 협력사례를 선정하고 홍보해 우수기업의 참여를 확대할 계획"이라고 밝혔다.
참여 희망 소부장 기업은 한국산업기술진흥원(KIAT) 과제관리시스템에서 세부내용과 절차를 확인할 수 있다.