테스, 탄소계 액체 전구체 관련 특허권 취득

입력 2018-12-26 17:48
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테스가 탄소계 액체 전구체 관련 특허권을 취득했다고 26일 공시했다. 이는 반도체 장비에 적용되는 기술이다.

회사 측은 "장비 제조시 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 계획"이라고 설명했다.

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